公開日期 | 標題 | 作者 | 來源出版物 | scopus | WOS | 全文 |
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2000 | Properties and chemical-mechanical polishing characteristics of low dielectric constant polymer films: PAE-2 and Flare 2.0 | WEN-CHANG CHEN ; Yen, C.T.; Dai, B.-T.; Tsai, M.-S. | Journal of the Chinese Institute of Chemical Engineers |