Project title/計畫英文名
下世代技術節點的材料、製程、元件及電路熱模擬之關鍵技術-大型儀器(子計畫三):射頻基材偏壓增強型原子層沉積系統升級套件(先進原子層材料與模組技術)
Project Number/計畫編號
108-2218-E-002-030-
Translated Name/計畫中文名
下世代技術節點的材料、製程、元件及電路熱模擬之關鍵技術-大型儀器(子計畫三):射頻基材偏壓增強型原子層沉積系統升級套件(先進原子層材料與模組技術)
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Department/Unit
Start date/計畫起
01-05-2019
Expected Completion/計畫迄
30-04-2020