Project title/計畫英文名
碳化矽單晶片功率系統平台-子計畫三:碳化矽多層磊晶技術和深溝槽回填技術在垂直型高功率元件製程上的探討(1/2)
Project Number/計畫編號
109-2218-E-002-033-
Translated Name/計畫中文名
碳化矽單晶片功率系統平台-子計畫三:碳化矽多層磊晶技術和深溝槽回填技術在垂直型高功率元件製程上的探討(1/2)
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-05-2020
Expected Completion/計畫迄
30-04-2021