Project title/計畫英文名
創新式全域高速彩色共焦量測探頭關鍵技術之研發與零阿倍三軸晶圓掃描平台之整合系統及最佳化
Project Number/計畫編號
110-2221-E-002-120-MY3
Translated Name/計畫中文名
創新式全域高速彩色共焦量測探頭關鍵技術之研發與零阿倍三軸晶圓掃描平台之整合系統及最佳化
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Department/Unit
Start date/計畫起
01-08-2022
Expected Completion/計畫迄
31-07-2023