Project title/計畫英文名
基於光學模型深度學習發展半導體製程關鍵尺寸之超解析精密量測研究與設備研發
Project Number/計畫編號
112-2221-E-002-148-MY3
Translated Name/計畫中文名
基於光學模型深度學習發展半導體製程關鍵尺寸之超解析精密量測研究與設備研發
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Department/Unit
Start date/計畫起
01-08-2024
Expected Completion/計畫迄
31-07-2025