Project title/計畫英文名
超音波拋光與銅製程化學反應基礎研究
Translated Name/計畫中文名
超音波拋光與銅製程化學反應基礎研究
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
National Chung-Shan Institute of Science & Technology
Start date/計畫起
01-01-2003
Expected Completion/計畫迄
31-12-2003