Project title/計畫英文名
矽晶圓輪磨製程技術評估及效能提昇研究
Project Number/計畫編號
93-2622-E-002-007-CC3
Translated Name/計畫中文名
矽晶圓輪磨製程技術評估及效能提昇研究
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-05-2004
Expected Completion/計畫迄
30-04-2005