Project title/計畫英文名
半導體製程設備中晶圓傳送盒之鎖合機構概念設計(II)
Project Number/計畫編號
92-2212-E-002-039-
Translated Name/計畫中文名
半導體製程設備中晶圓傳送盒之鎖合機構概念設計(II)
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2003
Expected Completion/計畫迄
31-07-2004