Project title/計畫英文名
科學工業園區研發精進產學合作計畫-創新式矽穿孔關鍵尺寸量測技術與系統之開發
Project Number/計畫編號
104A22
Translated Name/計畫中文名
科學工業園區研發精進產學合作計畫-創新式矽穿孔關鍵尺寸量測技術與系統之開發
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Hsinchu Science Park Bureau, NSTC
Start date/計畫起
01-05-2015
Expected Completion/計畫迄
30-04-2016