Project title/計畫英文名
氣浮式TFT LCD玻璃基板移載系統變形量分析及氣浮穩定控制
Project Number/計畫編號
99-2622-E-002-020-CC3
Translated Name/計畫中文名
氣浮式TFT LCD玻璃基板移載系統變形量分析及氣浮穩定控制
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-06-2010
Expected Completion/計畫迄
31-05-2011