Project title/計畫英文名
使用原子層沉積與氦離子束技術製作特徵尺寸小於5奈米且具高度有序的奈米結構於表面電漿子之應用
Project Number/計畫編號
106-2112-M-002-002-MY3
Translated Name/計畫中文名
使用原子層沉積與氦離子束技術製作特徵尺寸小於5奈米且具高度有序的奈米結構於表面電漿子之應用
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2019
Expected Completion/計畫迄
31-07-2020