Project title/計畫英文名
遠程電漿輔助原子層沉積技術用於低溫製備奈米鐵電薄膜及其鐵電相結晶行為之研究
Project Number/計畫編號
106-2221-E-002-086-MY2
Translated Name/計畫中文名
遠程電漿輔助原子層沉積技術用於低溫製備奈米鐵電薄膜及其鐵電相結晶行為之研究
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2017
Expected Completion/計畫迄
31-07-2018