Project title/計畫英文名
超薄鋯-鋁-銅-鎳金屬玻璃膜作為銅金屬層與矽基材間之擴散阻障
Project Number/計畫編號
100-2221-E-002-129-MY2
Translated Name/計畫中文名
超薄鋯-鋁-銅-鎳金屬玻璃膜作為銅金屬層與矽基材間之擴散阻障
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2012
Expected Completion/計畫迄
31-07-2013