Project title/計畫英文名
積体電路相容微機電系統之研究(一)---子計畫四:積体電路相容微機電關鍵技術之研究
Project Number/計畫編號
91-2218-E002-019
Translated Name/計畫中文名
積体電路相容微機電系統之研究(一)---子計畫四:積体電路相容微機電關鍵技術之研究
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2002
Expected Completion/計畫迄
31-07-2003