Project title/計畫英文名
應用電漿浸沒離子佈植(PIII)與晶圓鍵結技術製造SOI及GOI半導體材料研究(3/3)
Project Number/計畫編號
98-2623-E-002-022-NU
Translated Name/計畫中文名
應用電漿浸沒離子佈植(PIII)與晶圓鍵結技術製造SOI及GOI半導體材料研究(3/3)
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-01-2009
Expected Completion/計畫迄
31-12-2009