Project title/計畫英文名
超高速超大型積體電路光刻製程模擬及全焦段光罩校正
Project Number/計畫編號
97-2221-E-002-244-
Translated Name/計畫中文名
超高速超大型積體電路光刻製程模擬及全焦段光罩校正
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2008
Expected Completion/計畫迄
31-07-2009