Project title/計畫英文名
超高速超大型積體電路光刻製程模擬及全焦段光罩校正及平行化
Project Number/計畫編號
99-2221-E-002-200-MY3
Translated Name/計畫中文名
超高速超大型積體電路光刻製程模擬及全焦段光罩校正及平行化
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2012
Expected Completion/計畫迄
31-07-2013