https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/149717
標題: | The design of rapid thermal process for large diameter applications [semiconductor wafer processing] | 作者: | Liu, C.W. Lee, M.H. Chao, C.Y. Chen, C.Y. Yang, C.C. Chang, Y. CHEE-WEE LIU CHIH-CHUNG YANG |
公開日期: | 六月-1998 | 起(迄)頁: | - | 來源出版物: | Semiconductor Manufacturing Technology Workshop | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/2007041910021711 | 其他識別: | N/A | DOI: | 10.1109/SMTW.1998.722653 |
顯示於: | 電機工程學系 |
檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
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