https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/149915
標題: | 半導體關鍵設備研發─子計畫二:0.35um或更高技術之單晶圓化學氣相沉積反應器(I) | 作者: | 劉致為 | 公開日期: | 1997 | 出版社: | 臺北市:國立臺灣大學電機工程學系暨研究所 | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/7304 | 其他識別: | 20060725115644750598 | Rights: | 國立臺灣大學電機工程學系暨研究所 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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