https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/150596
標題: | Dual-axis Maglev guiding system modeling and controller design for wafer transportation | 作者: | Chen, Mei-Yung Wang, Ming-Jyh Fu, Li-Chen |
公開日期: | 十二月-1999 | 起(迄)頁: | - | 來源出版物: | 38th IEEE Conference on Decision and Control | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/2007041910021682 | 其他識別: | N/A | DOI: | 10.1109/CDC.1999.831324 |
顯示於: | 電機工程學系 |
檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
---|---|---|---|---|
00831324.pdf | 538.49 kB | Adobe PDF | 檢視/開啟 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。