https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/154310
標題: | Oxidation of Silicon Nitride Prepared by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition at Low Temperature | 作者: | Liao, W. S. Lin, C. H. 李嗣涔 Lee, Si-Chen |
公開日期: | 1995 | 卷: | v.65 | 起(迄)頁: | 2229-2231 | 來源出版物: | Applied Physics Letters | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/120795 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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