https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/177713
標題: | Efficient 193 nm-laser assisted cryogenic etching of GaN with Cl2/CH4 | 作者: | Chen, B.C. Chiang, H.C. Yang, C.C. Peng, Y.H. Shih, M.C. Chuang, T.J. |
公開日期: | 五月-1999 | 起(迄)頁: | - | 來源出版物: | Lasers and Electro-Optics, 1999. CLEO '99. Summaries of Papers Presented at the Conference on | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/2007041910021667 | 其他識別: | N/A | DOI: | 10.1109/CLEO.1999.834367 |
顯示於: | 化學系 |
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