https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/177715
標題: | Growth of nano-sized copper seed layer on TiN and TaSiN by new non-toxic electroless plating | 作者: | Liu, R.S. You, C.C. Tsai, M.S. Hu, S.F. Lee, K. Lu, J. LiuRS |
公開日期: | 八月-2002 | 起(迄)頁: | - | 來源出版物: | 2nd IEEE Conference on Nanotechnology | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/2007041910021104 | 其他識別: | N/A | DOI: | 10.1109/NANO.2002.1032113 |
顯示於: | 化學系 |
檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
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