https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/289056
標題: | Processing, properties, and CMP characteristics of a spin-on polymer: HSQ | 作者: | Lin, W.-J. Yang, C.-J. Chen, W.-C. WEN-CHANG CHEN |
公開日期: | 2000 | 卷: | 612 | 來源出版物: | Materials Research Society Symposium | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0034428450&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/289056 |
顯示於: | 化學工程學系 |
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