https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/292541
標題: | Mathematical analysis of soft baking in photolithography | 作者: | Hsu, J.-P. Lin, S.-H. Chen, W.-C. WEN-CHANG CHEN Hsu J.-P. |
公開日期: | 2001 | 卷: | 89 | 期: | 3 | 起(迄)頁: | 1861-1865 | 來源出版物: | Journal of Applied Physics | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0042329774&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/292541 |
DOI: | 10.1063/1.1335823 |
顯示於: | 化學工程學系 |
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