https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/292797
標題: | Self-reducible CuII source reagents for the CVD of copper | 作者: | Hsu, P.-F. Chi, Y. Lin, T.-W. Liu, C.-S. Carty, A.J. Peng, S.-M. SHIE-MING PENG |
公開日期: | 2001 | 卷: | 7 | 期: | 1 | 起(迄)頁: | 28-31 | 來源出版物: | Chemical Vapor Deposition | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0003143523&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/292797 |
DOI: | 10.1002/1521-3862(200101)7:1<28 |
顯示於: | 化學系 |
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