https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/293633
標題: | A novel illuminator design in a rapid thermal processor | 作者: | CHEE-WEE LIU Lee, M.H. CHEE-WEE LIU |
公開日期: | 2001 | 卷: | 14 | 期: | 2 | 起(迄)頁: | 152-156 | 來源出版物: | IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0035334299&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/293633 |
DOI: | 10.1109/66.920726 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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