https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/297465
標題: | Deposition of iridium thin films using new IrI CVD precursors | 作者: | Chen, Y.-L. Liu, C.-S. Chi, Y. Carty, A.J. Peng, S.-M. Lee, G.-H. SHIE-MING PENG |
公開日期: | 2002 | 卷: | 8 | 期: | 1 | 起(迄)頁: | 17-20 | 來源出版物: | Chemical Vapor Deposition | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0002451171&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/297465 |
DOI: | 10.1002/1521-3862(20020116)8:1<17 |
顯示於: | 化學系 |
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