https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/302355
標題: | Deposition of Ru and RuO2 thin films employing dicarbonyl bis-diketonate ruthenium complexes as CVD source reagents | 作者: | Lai, Ying-Hui Chen, Yao-Lun Chi, Yun Liu, Chao-Shiuan Carty, Arthur J. Peng, Shie-Ming Lee, Gene-Hsiang SHIE-MING PENG |
公開日期: | 2003 | 卷: | 13 | 期: | 8 | 起(迄)頁: | 1999-2006 | 來源出版物: | Journal of Materials Chemistry | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0041565413&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/302355 |
DOI: | 10.1039/b300517h |
顯示於: | 化學系 |
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