https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/302513
標題: | Cross-linked PMMA as a low-dimensional dielectric sacrificial layer | 作者: | Teh, W.H. CHI-TE LIANG Graham, M. Smith, C.G. |
公開日期: | 2003 | 卷: | 12 | 期: | 5 | 起(迄)頁: | 641-648 | 來源出版物: | Journal of Microelectromechanical Systems | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0242551735&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/302513 |
DOI: | 10.1109/JMEMS.2003.817891 |
顯示於: | 物理學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。