https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/309131
標題: | Characterization of the gray-scale photolithography with high-resolution gray steps for the precise fabrication of diffractive optics | 作者: | HOANG-YAN LIN | 公開日期: | 2004 | 卷: | 43 | 期: | 11 | 起(迄)頁: | 2666-2670 | 來源出版物: | Optical Engineering | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-11244305610&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/309131 |
DOI: | 10.1117/1.1801411 |
顯示於: | 光電工程學研究所 |
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