https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/309376
標題: | Electrical and optical reliability improvement of HfO<inf>2</inf> gate dielectric by deuterium and hydrogen incorporation | 作者: | CHEE-WEE LIU Yu, C.-Y. Chen, T.C. Lee, M.H. Huang, S.-H. Lee, L.S. CHEE-WEE LIU |
公開日期: | 2004 | 起(迄)頁: | 165-168 | 來源出版物: | International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits, IPFA | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-14844297748&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/309376 |
顯示於: | 電機工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。