https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/309693
標題: | Development of spin coated mesoporous oxide films for MEMS structures | 作者: | Paik, J.-A. Fan, S.-K. Chang, H. Kim, C.-J. Wu, M.C. Dunn, B. SHIH-KANG FAN |
公開日期: | 2004 | 卷: | 13 | 期: | 1-3 | 起(迄)頁: | 423-428 | 來源出版物: | Journal of Electroceramics | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-17044440110&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/309693 |
DOI: | 10.1007/s10832-004-5136-5 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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