https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/322469
標題: | A fundamental modeling approach for nano-grinding of silicon wafers | 作者: | Young, H.T. Huang, H.-Y. Yang, Y.-J. HONG-TSU YOUNG |
公開日期: | 2006 | 卷: | 505-507 | 期: | PART 1 | 起(迄)頁: | 253-258 | 來源出版物: | Materials Science Forum | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-35348923540&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/322469 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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