https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/340158
標題: | Time dependent preferential sputtering in the HfO 2 layer on Si (100) | 作者: | Chang, SJ Lee, WC Hwang, J Hong, M Kwo, J MINGHWEI HONG |
公開日期: | 2008 | 卷: | 516 | 期: | 6 | 起(迄)頁: | 948-952 | 來源出版物: | Thin Solid Films | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/340158 |
顯示於: | 應用物理研究所 |
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