https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/340844
標題: | Effective energy densities in KrF excimer laser reformation as a sidewall smoothing technique | 作者: | Liang, Eih-Zhe Hung, Shih-Che Hsieh, Ya-Ping Lin, Ching-Fuh CHING-FUH LIN |
公開日期: | 2008 | 卷: | 26 | 期: | 1 | 起(迄)頁: | 110-116 | 來源出版物: | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-38849168311&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/340844 |
DOI: | 10.1116/1.2825163 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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