https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/350240
標題: | An automatic optical-simulation-based lithography hotspot fix flow for post-route optimization | 作者: | Tong, Y.-S. Lin, C.-W. Chen, S.-J. SAO-JIE CHEN |
公開日期: | 2009 | 起(迄)頁: | 115-121 | 來源出版物: | International Symposium on Physical Design | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-70349152627&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/350240 |
DOI: | 10.1145/1514932.1514959 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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