https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/363607
標題: | Enhancing fracture strength of thinned silicon dies by a hybrid micromachining method | 作者: | Lin, C.-C. Young, H.-T. Tang, C.-W. Tsai, M.-Y. HONG-TSU YOUNG |
公開日期: | 2011 | 卷: | 4 | 期: | 4 | 起(迄)頁: | 290-303 | 來源出版物: | International Journal of Abrasive Technology | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84863126927&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/363607 |
DOI: | 10.1504/IJAT.2011.044503 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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