https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/363646
標題: | A mask-free fabrication of SU-8/silicon spherical microprobe | 作者: | WEN-PIN SHIH Tsai, Yao-Chuan Wu, Ming-Dao Shih, Wen-Pin |
公開日期: | 2011 | 卷: | 88 | 期: | 8 | 起(迄)頁: | 2129-2131 | 來源出版物: | Microelectronic Engineering | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-79960059837&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/363646 |
DOI: | 10.1016/j.mee.2010.12.091 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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