https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/372702
標題: | Simultaneous flare level and flare variation minimization with dummification in EUVL | 作者: | Fang, S.-Y. Chang, Y.-W. YAO-WEN CHANG |
公開日期: | 2012 | 起(迄)頁: | 1179-1184 | 來源出版物: | Design Automation Conference | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84863558338&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/372702 |
DOI: | 10.1145/2228360.2228578 |
顯示於: | 電子工程學研究所 |
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