https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/387124
標題: | Fabrication of silicon thin film by metal-assisted chemical etching | 作者: | Yang, S.-T. Liu, C.-T. Thiyagu, S. Hsueh, C.-C. Lin, C.-F. CHING-FUH LIN |
公開日期: | 2014 | 起(迄)頁: | 799-800 | 來源出版物: | 14th IEEE International Conference on Nanotechnology, IEEE-NANO 2014 | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84919480777&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/387124 |
DOI: | 10.1109/NANO.2014.6967974 |
顯示於: | 電機工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。