https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/387332
標題: | A novel layout decomposition algorithm for triple patterning lithography | 作者: | Fang, S.-Y. Chang, Y.-W. Chen, W.-Y. YAO-WEN CHANG |
公開日期: | 2014 | 卷: | 33 | 期: | 3 | 起(迄)頁: | 397-408 | 來源出版物: | IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84897655385&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/387332 |
DOI: | 10.1109/TCAD.2013.2288678 |
顯示於: | 電子工程學研究所 |
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