https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/396591
標題: | Simultaneous EUV flare variation minimization and CMP control by coupling-aware dummification | 作者: | Chiang, H.-J.K. Liu, C.-Y. Jiang, J.-H.R. Chang, Y.-W. YAO-WEN CHANG JIE-HONG JIANG |
公開日期: | 2016 | 卷: | 35 | 期: | 4 | 起(迄)頁: | 598-610 | 來源出版物: | IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84963737094&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/396591 |
DOI: | 10.1109/TCAD.2015.2488492 |
顯示於: | 電子工程學研究所 |
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