https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/427639
標題: | Novel guiding template and mask assignment for DSA-MP hybrid lithography using multiple BCP materials | 作者: | Yi-Ting Lin Iris Hui-Ru Jiang HUI-RU JIANG 江蕙如 |
公開日期: | 2019 | 卷: | 148580 | 起(迄)頁: | 8460157 | 來源出版物: | 56th ACM/IEEE Design Automation Conference (DAC-2019) | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/427639 | DOI: | 10.1145/3316781.3317871 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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