https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/433221
標題: | Ferroelectric AlN ultrathin films prepared by atomic layer epitaxy | 作者: | Lin B.-T. Lee W.-H. Shieh J. TZONG-LIN JAY SHIEH MIIN-JANG CHEN |
公開日期: | 2019 | 出版社: | SPIE | 卷: | 10968 | 來源出版物: | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering | URI: | https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85068203256&doi=10.1117%2f12.2522119&partnerID=40&md5=4bf6c41a63b4ddec6499682fd8340f17 https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/433221 |
ISBN: | 9781510625914 | ISSN: | 0277786X | DOI: | 10.1117/12.2522119 |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。