https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/443429
標題: | Time dependent preferential sputtering in the HfO2 layer on Si(100) | 作者: | Chang, S.J. Lee, W.C. Hwang, J. Hong, M. Kwo, J. MINGHWEI HONG |
公開日期: | 2008 | 卷: | 516 | 期: | 6 | 起(迄)頁: | 948-952 | 來源出版物: | Thin Solid Films | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/443429 | DOI: | 10.1016/j.tsf.2007.06.007 |
顯示於: | 物理學系 |
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