https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447497
標題: | Estimation of dressing effects in chemical mechanical polishing with sorts of diamond dressers | 作者: | Chen, K.-R. Young, H.-T. Chen, K.R. HONG-TSU YOUNG |
公開日期: | 2009 | 卷: | 76-78 | 起(迄)頁: | 175-180 | 來源出版物: | Advanced Materials Research | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447497 | DOI: | 10.4028/www.scientific.net/AMR.76-78.175 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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