https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447501
標題: | A fundamental modeling approach for nano-grinding of silicon wafers | 作者: | Young, H. T. Huang, H. Y. Yang, Y. J. HONG-TSU YOUNG |
公開日期: | 2006 | 起(迄)頁: | 253-258 | 來源出版物: | Progress on Advanced Manufacture for Micro/Nano Technology 2005, Pt 1 and 2 | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447501 | ISBN: | 978-0-87849-990-8 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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