https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447891
標題: | 3-D surface profilometry for both static and dynamic nano-scale full field characterization of AFM micro cantilever beams | 作者: | Chen, L.-C. Fan, K.-C. Lin, C.-D. Chang, C.C. Kao, C.-F. Chou, J.-T. LIANG-CHIA CHEN |
公開日期: | 2005 | 卷: | 5878 | 起(迄)頁: | 1-12 | 來源出版物: | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447891 | DOI: | 10.1117/12.614683 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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