https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/448488
標題: | New fabrication method for high-Q MEMS inductors | 作者: | Kuo, W.-C. Hsu, C.-Y. Yang, Y.-J. YAO-JOE YANG |
公開日期: | 2012 | 卷: | 9 | 期: | PARTS A AND B | 起(迄)頁: | 919-923 | 來源出版物: | ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/448488 | DOI: | 10.1115/IMECE2012-89169 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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